এই যন্ত্রটি নন-কন্টাক্ট, অপটিক্যাল ফেজ-শিফটিং ইন্টারফেরোমেট্রিক পরিমাপ পদ্ধতি গ্রহণ করে, পরিমাপের সময় ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠের ক্ষতি করে না, বিভিন্ন ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠের মাইক্রো-টপোগ্রাফির ত্রিমাত্রিক গ্রাফিক্স দ্রুত পরিমাপ করতে পারে এবং পরিমাপ বিশ্লেষণ ও গণনা করতে পারে। ফলাফল
পণ্য বিবরণ
বৈশিষ্ট্য: বিভিন্ন গেজ ব্লক এবং অপটিক্যাল অংশগুলির পৃষ্ঠের রুক্ষতা পরিমাপের জন্য উপযুক্ত; শাসক এবং ডায়াল এর জালিকা গভীরতা; ঝাঁঝরির খাঁজ কাঠামোর আবরণের বেধ এবং আবরণের সীমানার কাঠামোর রূপবিদ্যা; চৌম্বকীয় (অপটিক্যাল) ডিস্কের পৃষ্ঠ এবং চৌম্বকীয় মাথার গঠন পরিমাপ; সিলিকন ওয়েফার পৃষ্ঠের রুক্ষতা এবং প্যাটার্ন গঠন পরিমাপ, ইত্যাদি
যন্ত্রের উচ্চ পরিমাপের নির্ভুলতার কারণে, এতে যোগাযোগহীন এবং ত্রিমাত্রিক পরিমাপের বৈশিষ্ট্য রয়েছে এবং এটি কম্পিউটার নিয়ন্ত্রণ এবং পরিমাপের ফলাফলের দ্রুত বিশ্লেষণ এবং গণনা গ্রহণ করে। এই যন্ত্রটি সমস্ত স্তরের পরীক্ষা এবং পরিমাপ গবেষণা ইউনিট, শিল্প ও খনির উদ্যোগ পরিমাপ কক্ষ, নির্ভুল প্রক্রিয়াকরণ কর্মশালা, এবং উচ্চ শিক্ষা ও বৈজ্ঞানিক গবেষণা প্রতিষ্ঠান ইত্যাদির জন্যও উপযুক্ত।
প্রধান প্রযুক্তিগত পরামিতি
পৃষ্ঠ মাইক্রোস্কোপিক অসমতা গভীরতা পরিমাপ পরিসীমা
একটি অবিচ্ছিন্ন পৃষ্ঠে, যখন দুটি সন্নিহিত পিক্সেলের মধ্যে 1/4 তরঙ্গদৈর্ঘ্যের চেয়ে বেশি উচ্চতা হঠাৎ পরিবর্তন না হয়: 1000-1nm
যখন দুটি সংলগ্ন পিক্সেলের মধ্যে তরঙ্গদৈর্ঘ্যের 1/4-এর বেশি উচ্চতা মিউটেশন থাকে: 130-1nm
পরিমাপের পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা: δRa ≤0.5nm
অবজেক্টিভ লেন্স ম্যাগনিফিকেশন: 40X
সংখ্যাসূচক অ্যাপারচার: Φ 65
কাজের দূরত্ব: 0.5 মিমি
ইনস্ট্রুমেন্ট ফিল্ড অফ ভিজ্যুয়াল: Φ0.25 মিমি
ছবি: 0.13 × 0.13 মিমি
ইন্সট্রুমেন্ট ম্যাগনিফিকেশন ভিজ্যুয়াল: 500×
ফটোগ্রাফ (কম্পিউটার স্ক্রীন দ্বারা পর্যবেক্ষণ)-2500×
রিসিভার পরিমাপ অ্যারে: 1000X1000
পিক্সেল আকার: 5.2×5.2µm
পরিমাপ সময় নমুনা (স্ক্যানিং) সময়: 1S
ইন্সট্রুমেন্ট স্ট্যান্ডার্ড মিরর রিফ্লেক্টিভিটি (উচ্চ): ~50%
প্রতিফলন (কম): ~4%
আলোর উত্স: ভাস্বর বাতি 6V 5W
সবুজ হস্তক্ষেপ ফিল্টার তরঙ্গদৈর্ঘ্য: λ≒530nm
অর্ধ প্রস্থ λ≒10nm
প্রধান মাইক্রোস্কোপ লিফট: 110 মিমি
টেবিল লিফট: 5 মিমি
এক্স এবং ওয়াই দিকে চলাচলের সীমা: 10 মিমি
ওয়ার্কটেবলের ঘূর্ণন পরিসীমা: 360°
কাজের টেবিলের টিল্ট পরিসীমা: ±6°
কম্পিউটার সিস্টেম: P4, 2.8G বা তার বেশি, 1G বা তার বেশি মেমরি সহ 17-ইঞ্চি ফ্ল্যাট-স্ক্রিন ডিসপ্লে